| 微机械静电伺服加速度计 |
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| 引用本文： | 彭勃,何晓平,苏伟.微机械静电伺服加速度计[J].中国惯性技术学报,2000,8(1):63-66. |
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| 作者姓名： | 彭勃 何晓平 苏伟 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 本文详细介绍了微机械静电伺服加速度计的系统工作原理、结构和线路设计特点 ,并对其封装样品作了简要的叙述。给出了用于± 4g,线性度小于 2 % ,分辨率低于 5× 1 0 - 3g的微加速度计实验结果。
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| 关 键 词： | 静电伺服 加速度计 微弱信号检测 阳极键合 |
A Micro-machined Electrostatic Servo Accelerometer |
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| PENG Bo,HE Xiao-ping,SU Wei.A Micro-machined Electrostatic Servo Accelerometer[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2000,8(1):63-66. |
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| Authors: | PENG Bo HE Xiao-ping SU Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electrostatic servo accelerometer weak signal detection anode bonding |
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