| 基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法 |
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| 引用本文： | 徐 哲,刘云峰,董景新.基于闭环点位置控制的硅微梳齿式加速度计温漂抑制方法[J].中国惯性技术学报,2014(1):114-119. |
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| 作者姓名： | 徐 哲 刘云峰 董景新 |
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| 作者单位： | ;1.清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室;2.总参陆航研究所 |
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| 摘 要： | 环境温度的变化会造成硅微加速度计检测电路输出漂移,从而使加速度计敏感质量的闭环点位置产生漂移。通过分析闭环点位置对加速度计标度因素K1和零偏K0的影响,证明了闭环点位置漂移是造成零偏K0温漂的主要因素和标度因素K1温漂的次要因素。提出了加速度计闭环点位置控制方法,通过在环内加入控制电压可使闭环点始终工作于稳定位置。试验结果证明,该方法可显著降低零偏K0的温漂,闭环点始终位于零反馈位置时零偏K0的温漂系数可降低一个数量级,且温漂滞环可被压缩至±1 mV(±7.77 mg)以内。
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| 关 键 词： | 硅微梳齿式加速度计 温漂 闭环点位置 滞环 |
Thermal drift reduction of comb-finger micromechanical silicon accelerometer based on close-loop position control |
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