| 微硅加速度计的超精细加工 |
| |
| 引用本文： | 张家跃.微硅加速度计的超精细加工[J].中国惯性技术学报,1996(2). |
| |
| 作者姓名： | 张家跃 |
| |
| 作者单位： | 北京理工大学一系 |
| |
| 摘 要： | 本文讨论了各向异性腐蚀的机理；硅的各向异性腐蚀设计；双面光刻等与微硅加速度计有关的超精细加工问题。
|
| 关 键 词： | 微硅加速度计 |
Super-Fine Processing in Silicon Microaccelerometer |
| |
| Zhang Jiayao.Super-Fine Processing in Silicon Microaccelerometer[J].Journal of Chinese Inertial Technology,1996(2). |
| |
| Authors: | Zhang Jiayao |
| |
| Institution: | Beijing Institute of Technology |
| |
| Abstract: | The mechanism of anisotropic etching the construction design of silicon anisotropic etching and two-side etching technology to produce microaccelerometer have been discussed in the paper. |
| |
| Keywords: | Microaccelerometer |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
