| 基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术 |
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| 引用本文： | 韩丰田,吴秋平,吴黎明,董景新.基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术[J].中国惯性技术学报,2008,16(3). |
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| 作者姓名： | 韩丰田 吴秋平 吴黎明 董景新 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。
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| 关 键 词： | 硅微陀螺 静电悬浮 体硅工艺 电容式位移检测 可变电容式电机 |
Micromachined rotational gyroscopes with an electrostatically levitated rotor |
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| HAN Feng-tian,WU Qiu-ping,WU Li-ming,DONG Jing-xin.Micromachined rotational gyroscopes with an electrostatically levitated rotor[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2008,16(3). |
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| Authors: | HAN Feng-tian WU Qiu-ping WU Li-ming DONG Jing-xin |
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