| 一种双质量硅微陀螺仪 |
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| 引用本文： | 殷勇,王寿荣,王存超,杨波,盛平,田忠.一种双质量硅微陀螺仪[J].中国惯性技术学报,2008,16(6). |
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| 作者姓名： | 殷勇 王寿荣 王存超 杨波 盛平 田忠 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学,仪器科学与工程学院,南京,210096
2. 中国人民解放军,第二炮兵指挥学院通信系,武汉,430012 |
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| 基金项目： | 解放军总装备部预研项目 |
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| 摘 要： | 双质量块结构形式的硅微陀螺仪能够有效消除轴向加速度等共模干扰的影响。利用结构解耦方法设计了一种新型的双质量双线振动式硅微机械陀螺仪。依据双质量硅微陀螺的结构和工作原理,通过简化的动力学方程,对该陀螺的驱动和检测模态进行了理论分析,并利用Ansys有限元软件对陀螺的驱动和检测模态进行了数值仿真。仿真结果表明,该陀螺结构设计能够实现驱动和检测模态的完全解耦,从而验证了设计思想的正确性。通过仿真,得到了驱动和检测模态的仿真频率值。在对微陀螺加工所采用的加工工艺进行简单介绍后,对加工出的硅微机械陀螺仪样品的模态频率值进行了电路测试。由于加工误差的存在,实验得到的驱动和检测频率值与仿真设计值存在1.6%的误差。最后在转台上对样品的标度因数进行了测定,得到了该双质量硅微陀螺仪的标度因数为2.518mV/((°)?s-1)。
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 结构解耦 Ansys仿真 标度因数测定 |
Dual-mass silicon micro-gyroscope |
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| YIN Yong,WANG Shou-rong,WANG Cun-chao,YANG Bo,SHENG Ping,TIAN Zhong.Dual-mass silicon micro-gyroscope[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2008,16(6). |
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| Authors: | YIN Yong WANG Shou-rong WANG Cun-chao YANG Bo SHENG Ping TIAN Zhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-machined gyroscope structure decouple Ansys simulation scale factor test |
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