| 静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性 |
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| 引用本文： | 应法明,肖奇军,崔峰,陈文元,张卫平.静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性[J].中国惯性技术学报,2010,18(2):219-224. |
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| 作者姓名： | 应法明 肖奇军 崔峰 陈文元 张卫平 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200030 |
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| 基金项目： | 国防预研项目，教育部博士点基金新教师项目 |
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| 摘 要： | 空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响。根据流体力学,构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程。将微陀螺内部气膜分成了13个分区,推导了转子在轴向振动、径向振动、径向摆动时的压膜阻尼系数。根据微陀螺的结构参数进行仿真,结果表明:轴向压膜阻尼系数对微陀螺支承系统的动态特性影响最大,而压膜阻尼系数与气体的温度,压强呈线性关系,与振动幅值呈抛物线型关系;在低频段系统呈现阻尼力,而到高频段,系统呈现弹性力。利用Simulink进行了微陀螺的系统建模,得出压膜阻尼系数Cz对PID参数的选取,尤其是Kd参数,起着重要作用,同时对系统的稳定性也有一定的影响。
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| 关 键 词： | 微陀螺 压膜阻尼 PID参数 稳定性 |
Squeeze film damping of an electrostatically levitated micro-gyroscope |
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| YING Fa-ming,XIAO Qi-jun,CUI feng,CHEN Wen-yuan,ZHANG Wei-ping.Squeeze film damping of an electrostatically levitated micro-gyroscope[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2010,18(2):219-224. |
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| Authors: | YING Fa-ming XIAO Qi-jun CUI feng CHEN Wen-yuan ZHANG Wei-ping |
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