| 六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计 |
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| 引用本文： | 段光武,韩丰田,付真斌.六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计[J].中国惯性技术学报,2010,18(2):209-213. |
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| 作者姓名： | 段光武 韩丰田 付真斌 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 传统的静电加速度计在空间微弱加速度测量方面可以获得极高的分辨率。提出了一种采用静电悬浮、可实现六轴加速度测量的微静电加速度计。敏感组合件采用玻璃-硅-玻璃三层键合结构、体硅加工工艺;检测质量采用"回"字形结构,以提高加速度计的径向量程和刚度。利用有限元软件分析了大气环境下检验质量的气模阻尼特性,对六自由度静电悬浮回路进行了建模与分析,提出了实现六轴加速度检测的控制方案。给出了静电悬浮回路的仿真结果,评估了六轴加速度计的性能。
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| 关 键 词： | 微加速度计 六自由度 静电悬浮 气膜阻尼 |
Design of electrostatic levitation loop for six-axis micromachined accelerometer |
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| DUAN Guang-wu,HAN Feng-tian,FU Zhen-bin.Design of electrostatic levitation loop for six-axis micromachined accelerometer[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2010,18(2):209-213. |
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| Authors: | DUAN Guang-wu HAN Feng-tian FU Zhen-bin |
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