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梳齿式微机械力平衡加速度计
引用本文:马欣龙,王永梁.梳齿式微机械力平衡加速度计[J].中国惯性技术学报,2002,10(3):55-60.
作者姓名:马欣龙  王永梁
作者单位:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
摘    要:讨论了一种梳齿式微机械加速度计,介绍了表头微机构的特点和系统工作原理。通过对加速度计机械模型的分析,计算得出了加速度计的主要设计性能指标。另外还比较完整的提供了加速度计各项性能试验的数据,试验结果与理论分析能很好地吻合,说明加速度计的性能指标基本达到设计要求,证明这种加速度计的设计是成功的。

关 键 词:微机械系统  梳齿式加速度计  力平衡  惯性仪表  传感器
文章编号:1005-6734(2002)03-0055-06
修稿时间:2002年3月17日

Multi-Finger Micro-Mechanical Accelerometer with Force Balance Feedback
MA Xin-long,WANG Yong-liang.Multi-Finger Micro-Mechanical Accelerometer with Force Balance Feedback[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2002,10(3):55-60.
Authors:MA Xin-long  WANG Yong-liang
Abstract:This paper introduces a multi-finger microaccelerometer based on MEMS technology, and describes the characteristic of the sensor microstructure and the system operation principle. The mechanical model of accelerometer is presented, which is developed to calculate the main design performance indexes. The measurement results show that they are well correspondence with theoretical analyses. The performance indexes satisfy the requirement of design.
Keywords:MEMS  multi-finger microaccelerometer  force balance
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