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硅微谐振加速度计的温度特性
引用本文:王巍,王岩,庄海涵,邢朝洋.硅微谐振加速度计的温度特性[J].中国惯性技术学报,2013(2).
作者姓名:王巍  王岩  庄海涵  邢朝洋
作者单位:中国航天电子技术研究院,北京 100094
摘    要:硅微谐振加速度计以其小体积、低成本和高精度的频率信号输出,成为硅微惯性传感器研制的热点之一.温度特性是影响硅微谐振加速度计精度水平的重要因素.在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从结构设计方法、工艺流程加工和闭环控制回路方面分析了温度对零位和标度因数的影响因素,同时给出了相应解决措施.研制的硅微谐振加速度计基频约为17 kHz,标度因数约220 Hz/g,在-40~+70℃范围内,谐振频率的温度系数为-71.5×10-6/℃,标度因数的温度系数为-610×10-6/℃,样机在常温下谐振频率的相对稳定性为0.313×10-6,1.5 h 零偏稳定性达到42.5μg.

关 键 词:硅微谐振加速度计  温度特性  结构优化  闭环控制

Temperature characteristic of silicon resonant accelerometer
Abstract:
Keywords:silicon resonant accelerometer  temperature characteristic  structural optimization  closed-loop control
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