| 双光纤Fabry-Perot干涉仪差动检测静电伺服硅微加速度计 |
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| 引用本文： | 李莉,张春熹,林恒,刘惠兰.双光纤Fabry-Perot干涉仪差动检测静电伺服硅微加速度计[J].中国惯性技术学报,2005,13(6):82-85. |
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| 作者姓名： | 李莉 张春熹 林恒 刘惠兰 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式（以下简称DFPI）差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计。通过结构建模以及模型仿真得到该加速度计的分辨率为0.2ug，测量范围为0．2ug～1g。
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| 关 键 词： | 双光纤Fabry—Perot干涉仪 差动检测 静电伺服 加速度计 微光机电 |
| 文章编号： | 1005-6734(2005)06-0082-04 |
| 收稿时间： | 01 18 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 2005年1月18日 |
Micro-Mechanical Electrostatic Servo Accelerometer Based on Double Fiber Fabry-Perot Interferometers |
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| LI Li,ZHANG Chun-xi,LIN Heng,LIU Hui-lan.Micro-Mechanical Electrostatic Servo Accelerometer Based on Double Fiber Fabry-Perot Interferometers[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2005,13(6):82-85. |
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| Authors: | LI Li ZHANG Chun-xi LIN Heng LIU Hui-lan |
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| Abstract: | The paper describes the design of a novel micro-mechanical electrostatic servo accelerometer based on double fiber Fabry-Perot interferometers. Through modeling and simulation, a resolution of 0.2 ug is obtained. The measurement range of the accelerometer is 0.2ug-1g. |
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| Keywords: | double fiber Fabry-Perot interferometers differential check electrostatic servo accelerometer micro opto-electromechanical systems |
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