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| 高频等离子体尾焰接地熄弧的原因及解决办法 | |
| 引用本文： | 范支鹏;阎嘉坪;高彦春;黎齐修;陈允明.高频等离子体尾焰接地熄弧的原因及解决办法[J].力学与实践,1980,2(4):58-59. |
| 作者姓名： | 范支鹏;阎嘉坪;高彦春;黎齐修;陈允明 |
| 作者单位： | 中国科学院力学研究所 |
| 摘 要： | 高频等离子体在化工、冶金中有着广泛的应用.国内先后用于制造钛白、光导纤维及氮化硼等新材料.但在试验或生产中常遇到下述问题:与高频等离子体发生器相连的化学反应器一旦接地,系统就无法正常运转.经过反复试验发现,由于高频等离子体尾焰很长,时而会接触连在后面的反应器器壁,而一般反应器又是导电的,这时反应器的(电)接地就会引起熄 ... |
| 收稿时间： | 2008-9-12 |
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