| MEVVA金属离子源的研制与调试 |
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| 引用本文： | 高玉,耿漫.MEVVA金属离子源的研制与调试[J].核聚变与等离子体物理,1994,14(3):54-60. |
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| 作者姓名： | 高玉 耿漫 |
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| 作者单位： | 四川成都核工业西南物理研究院 |
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| 摘 要： | 本文介绍的ＭＥＶＶＡ源采用电动推进式可更换单阴极弧放电机构和加减速三栅引出系统，耐压水平在于５０ｋＶ，平均束流大于５ｍＡ，束班约Ф１５０，束的不均匀度小于±２０％。束的分布测量表明，在中心区有约Ф４０的平顶区。我们已获得了Ａｌ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｙ，Ｚｒ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｃ，ＬａＢ６等的离子束流及其最佳的运行条件。
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| 关 键 词： | MEVVA 离子源 表面改性 离子注入 |
DEVELOPMENT AND EXPERIMENTS OF A MEVVA ION SOURCE |
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| Gao Yu, Geng Man, Yu Yijun, Tang Deli, Huang Yuming, Gong Xiaorong.DEVELOPMENT AND EXPERIMENTS OF A MEVVA ION SOURCE[J].Nuclear Fusion and Plasma Physics,1994,14(3):54-60. |
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| Authors: | Gao Yu Geng Man Yu Yijun Tang Deli Huang Yuming Gong Xiaorong |
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| Keywords: | MEVVA ion source Surface modification |
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