| 等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究 |
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| 引用本文： | 于炯,宫野.等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究[J].核聚变与等离子体物理,1995,15(4):8-13. |
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| 作者姓名： | 于炯 宫野 |
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| 作者单位： | 大连理工大学物理系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,国家“863”高科技青年基金 |
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| 摘 要： | 本文使用流体动力学模型，研究了平板、柱形和球形靶的无碰撞及碰撞等离子体鞘层的时空演化，得到了鞘层边界演化、靶表面的离子注入电流密度和离子注入平均动能等参量。
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| 关 键 词： | 等离子体源 离子注入 鞘层 数值计算 |
NUMERICAL SIMULATION OF COLLISIONAL SHEATH EVOLUTION IN PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION |
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| YU Jiong, GONG Ye, WANG Dezhen.NUMERICAL SIMULATION OF COLLISIONAL SHEATH EVOLUTION IN PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION[J].Nuclear Fusion and Plasma Physics,1995,15(4):8-13. |
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| Authors: | YU Jiong GONG Ye WANG Dezhen |
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| Abstract: | The effects of ion collisions on plasma sheath are important in the case of a high pressure neutral gas. Evolution of the collisional sheath for different target geometries has been numerically simulated using a collisional fluid dynamic model. In addition to the sheath expansion, the ion implantation kinetic energy and the ion current density are obtained. |
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| Keywords: | Plasma source ion implantation Collisional plasma sheath Numerical computation |
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