| 氮直流辉光放电活性粒子(N~+,N)的产生率 |
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| 引用本文： | 张连珠.氮直流辉光放电活性粒子(N~+,N)的产生率[J].核聚变与等离子体物理,2003(2). |
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| 作者姓名： | 张连珠 |
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| 作者单位： | 河北师范大学物理系 石家庄050016 |
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| 基金项目： | 河北省教育厅资助项目(2002117)，河北师范大学资助项目(L2001Y04) |
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| 摘 要： | 在氮直流辉光放电等离子体中采用快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e+N2→N+ N+N+2e e和N+2+N2→N++N+N2过程中粒子(N+,N)产生率的轴向分布随放电参数(工作气压、放电电压和温度)的变化规律。结果表明:两种离解过程中氮活性粒子(N+,N)的产生率都随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近。电压较高时,阴极处的离子N+主要由N+2-N2离解过程产生;电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略。中性原子N主要由电子碰撞离解过程产生。
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| 关 键 词： | 氮直流辉光放电 蒙特卡罗模拟方法 氮活性粒子 产生率 |
CREATION RATES OF ACTIVE SPECIES(N~+,N)IN A NITROGEN DIRECT CURRENT GLOW DISCHARGE |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Nitrogen dc glow discharge Monte Carlo simulation Nitrogen active species Creation rate |
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