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用射频磁控溅射法制备金属/半导体颗粒膜
引用本文:黄宝歆.用射频磁控溅射法制备金属/半导体颗粒膜[J].大学物理,2007,26(9):43-45,51.
作者姓名:黄宝歆
作者单位:潍坊学院,物理系,山东,潍坊,261061
基金项目:国家自然科学基金 , 潍坊学院校科研和教改项目
摘    要:用射频磁控溅射法制备了金属/半导体Fex(In2O3)1-x颗粒膜,研究了该系列颗粒膜的微结构和磁性.实验结果表明:纳米尺度的Fe颗粒均匀地分散在非晶体态In2O3中.室温下样品具有超顺磁性,符合朗之万方程.

关 键 词:微结构  颗粒尺寸  超顺磁性
文章编号:1000-0712(2007)09-0043-03
收稿时间:2007-07-18
修稿时间:2007-07-18

Metal/semiconductor granular films prepared by RF magnetron sputtering method
HUANG Bao-xin.Metal/semiconductor granular films prepared by RF magnetron sputtering method[J].College Physics,2007,26(9):43-45,51.
Authors:HUANG Bao-xin
Institution:Department of Physics, Weifang College, Weifang, Shandong 261061, China
Abstract:
Keywords:microstructure  grain size  superparamagnetism
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