| 光滑表面粗糙度Rz参数的一种干涉测量法 |
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| 引用本文： | 褚长亮,屈光辉,王武孝,刘满仓,刘如军,张 琴.光滑表面粗糙度Rz参数的一种干涉测量法[J].物理通报,2016,35(1):71-74. |
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| 作者姓名： | 褚长亮 屈光辉 王武孝 刘满仓 刘如军 张 琴 |
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| 作者单位： | 西安理工大学理学院,西安理工大学理学院,西安理工大学材料科学与工程学院,西安理工大学理学院,西安理工大学理学院,西安理工大学理学院 |
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| 摘 要： | 介绍了一种光滑表面粗糙度Rz 参数的干涉测量法.该方法用空气膜层上表面与样本表面的基准面平
行的方式来观察等厚干涉条纹, 用干涉条纹间的相对运动来判断样本表面的峰谷, 同时也给出了新的Rz 计算公
式.该方法测量过程较简单、 对仪器要求较低且有助于样本的表面微观形貌分析
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| 关 键 词： | 表面粗糙度 干涉测量法 表面微观形貌分析 |
One Kind of Interferometry Measurement Method about Roughness Parameter Rz of Smooth Surface |
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