平板CO2激光器中α型RF放电的理论研究

由稳态时粒子数和电流连续性主带电粒子的能量平衡方程，建立了α型平板ＲＦ放电等离子体的理论模型，并用数值方法求得射频放电等离子体中粒子数密度、电场、功率密度、激发效率的空间分布，解释了ＲＦ放电的辉纹结构，分析了放电参数对放电特性的影响。