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低能原子族轰击金薄膜的分子动力学模拟
引用本文:潘正瑛.低能原子族轰击金薄膜的分子动力学模拟[J].计算物理,1992,9(A02):719-720.
作者姓名:潘正瑛
摘    要:

关 键 词:碰撞  原子束    模拟  族束注入
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