| 加工误差对马氏理论关于超微孔微穿孔板吸声结构适用性的影响 |
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| 引用本文： | 钱玉洁,崔珂,刘淑梅,刘友江,孙少明.加工误差对马氏理论关于超微孔微穿孔板吸声结构适用性的影响[J].声学学报,2014(2). |
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| 作者姓名： | 钱玉洁 崔珂 刘淑梅 刘友江 孙少明 |
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| 作者单位： | 中国科学院合肥智能机械研究所;中国科学技术大学自动化系;中国科学技术大学近代物理系;中国科学院先进制造技术研究所; |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目973计划(2011CB302104);国家自然科学基金(51005223)资助 |
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| 摘 要： | 从理论和实验上探讨了加工误差对马氏理论关于超微孔微穿孔板(micro-perforated panel,MPP)吸声结构适用性的影响。建立了计及加工误差的MPP理论分析模型,并应用MEMS工艺制作了超微孔MPP,由于工艺本身存在一定的加工误差,造成实际孔径与设计孔径10%~20%的偏差,在阻抗管中测量得到其垂直入射吸声系数。将实验结果和计及加工误差的理论预测值与马氏理论预测值进行对比发现,差别均较小,最大误差仍在6%以内,说明马氏理论在计及加工误差的情况下仍然适用。此外,对马氏理论关于加工误差的适用极限进行了仿真计算,结果表明,适用极限的大小具体依赖于超微孔MPP的孔径大小。
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| 关 键 词： | 加工误差 穿孔板吸声结构 超微孔 吸声系数 孔径 马氏 适用性 基本理论 理论预测 结构参数 |
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