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应用于气体传感器的多波导层Love波器件的温度特性研究
引用本文:王文,侯娇丽,刘明华,何世堂.应用于气体传感器的多波导层Love波器件的温度特性研究[J].声学学报,2013(2):181-187.
作者姓名:王文  侯娇丽  刘明华  何世堂
作者单位:中国科学院声学研究所
基金项目:国家自然基金资助项目(11074268)
摘    要:为获得趋于零温度系数的多波导层Love波器件结构参数,对Love波器件的温度稳定性进行了研究。首先构建了这种多波导层条件下Love波传播特性的理论模型,即根据层状结构声波传播方程和边界条件推导出Love波的色散方程,再结合色散方程和Tomar的方法,成功提取出趋于零温度系数的Love器件结构参数,并通过实验验证了理论计算结果,实验测试得到的基于ST-90°X石英且采用SU-8与SiO2双波导层的Love波延迟线器件的频率温度系数(tcf)仅为2.16 ppm/℃。优化后的器件具有很好的实际意义。


A study on temperature characteristic of multi-waveguides Love wave device used for gas sensor
WANG Wen,HOU Jiaoli,LIU Minghua,HE Shitang.A study on temperature characteristic of multi-waveguides Love wave device used for gas sensor[J].Acta Acustica,2013(2):181-187.
Authors:WANG Wen  HOU Jiaoli  LIU Minghua  HE Shitang
Institution:(Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences Beijing 100080)
Abstract:
Keywords:
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