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| 500 MHz反射式机械扫描声学显微镜的研究和试制 | |
| 引用本文： | 陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜.500 MHz反射式机械扫描声学显微镜的研究和试制[J].声学学报,1988(2). |
| 作者姓名： | 陈戈林 胡思正 罗淑云 张克潜 |
| 作者单位： | 清华大学 (陈戈林，胡思正，罗淑云)，清华大学(张克潜) |
| 摘 要： | 本文叙述了500MHz反射式机械扫描声学显微镜的研究试制工作。介绍了显微镜的基本结构,分析和讨论了声透镜的分辨率和显微镜的实际分辨能力。测试结果证明该显微镜的分辨率已达2μm。文章最后给出一些样品的声学图像和声学特征曲线。结果说明它具有一些独特功能和广泛的应用前景。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |