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| 超声振子箝位压电直线微动马达研究 | |
| 引用本文： | 周铁英,董蜀湘,刘小萍,李龙土,张孝文.超声振子箝位压电直线微动马达研究[J].声学学报,1993(1). |
| 作者姓名： | 周铁英 董蜀湘 刘小萍 李龙土 张孝文 |
| 作者单位： | 清华大学，清华大学，清华大学，清华大学，清华大学 北京 100084，北京 100084，北京 100084，北京 100084，北京 100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 本文提出一种利用环形三叠片超声振子箝位的压电直线微动马达.这种马达的箝位振子与导轴形成摩擦付。振子共振时其动摩擦系数与静摩擦系数之比降为～0.1。箝位振子的激励电压仅为±80V(峰峰值).马达速度为0—2mm/min;位移分辨率为50nm;驱动力约0.2kgf.这种马达还具有工艺简单的特点. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |