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光声显微镜对集成电路的分层成象
引用本文:陈力,张淑仪.光声显微镜对集成电路的分层成象[J].声学学报,1988(3).
作者姓名:陈力  张淑仪
作者单位:南京大学声学研究所 (陈力),南京大学声学研究所(张淑仪)
摘    要:利用光声显微镜对集成电路的亚表面结构进行剖析和检测是研究光声显微镜的重要目的之一.本文在理论上从一维热弹模型出发,针对我们的光声成象系统(特别是光声效应的压电接收系统)提出了一些特定的边界条件,计算并分析了利用光声显微镜系统对集成电路实现分层成象的可能性,并且在实验上得到了部分分层成象的结果,显示出光声显微镜作为集成电路生产的监控和检测工具有重要的应用前景.

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