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| 多组分固体表面的择优溅射 | |
| 引用本文： | 董树忠.多组分固体表面的择优溅射[J].物理,1985(3). |
| 作者姓名： | 董树忠 |
| 作者单位： | 复旦大学物理系 |
| 摘 要： | 近十多年来,由于表面分析技术发展的需要,对许多固体材料开展了离子溅射研究1].从合金和化合物的溅射研究发现,离子轰击能改变材料的表面成分2].研究多组分固体的表面成分在离子束作用下的变化,对阐明入射离子与靶原子间的作用,了解各成分原子在表面上的结合特性以及进行表面成分分析,都是十分必要的3].本文将简要说明目前对多组分固体表面离子溅射的了解,并讨论择优溅射对表面分析结果的影响. 一、溅射过程和择优溅射 在表面科学研究中常使用几百至几千电子伏能量的离子进行固体表面溅射.溅射时入射离子大部分进入固体体内,与固体原子产… |
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