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| 新型铁电存贮器和铁电薄膜的脉冲激光沉积 | |
| 引用本文： | 郑立荣,陈逸清.新型铁电存贮器和铁电薄膜的脉冲激光沉积[J].物理,1995,24(1):43-47. |
| 作者姓名： | 郑立荣 陈逸清 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 |
| 摘 要： | 结合自己的工作，介绍了目前国际上新型功能材料与器件研究的热点之一－铁电集成和铁电存贮器的研究开发；报道了用脉冲激光沉积这种新型成膜技术制备铁电ＰＺＴ薄膜的些实验结果。 |
| 关 键 词： | 存储器 铁电存贮器 铁电薄膜 脉冲激光沉积 |
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