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Nb表达的清洁处理
引用本文:胡兹甫,吴建新,等.Nb表达的清洁处理[J].物理,1990,19(1):47-48,18.
作者姓名:胡兹甫  吴建新
作者单位:[1]中国科学技术大学材料科学系 [2]中国科学技术大学结构成分分析中心
摘    要:本文介绍了用电子束加热(1500℃)及同时用氩离子溅射的方法进行金属Nb的表面清洁处理,处理结果良好。

关 键 词:  表面清洁处理  电子束加热  氩离子溅射
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