| 纳米结构的制备及单电子器件研究 |
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| 引用本文： | 王太宏,李宏伟,贾海强,李卫,黄绮,周均铭.纳米结构的制备及单电子器件研究[J].物理,2001,30(1):3-5. |
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| 作者姓名： | 王太宏 李宏伟 贾海强 李卫 黄绮 周均铭 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号：69925410，19904015)资助项目 |
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| 摘 要： | 建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统，研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术，制备了适合光电集成的多种纳米结构，发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术，其中，在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视，发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向，目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用。
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| 关 键 词： | 单电子晶体管 纳米加工技术 量子点 纳米结构 |
| 修稿时间： | 2000年10月25 |
NANOFABRICATION AND SINGLE
ELECTRON DEVICES |
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| WANG TAI-HONG,LI Hong-Wei,JIA Hai-Qiang,LI Wei,HUANG Yi,ZHOU Jun-Ming.NANOFABRICATION AND SINGLE
ELECTRON DEVICES[J].Physics,2001,30(1):3-5. |
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| Authors: | WANG TAI-HONG LI Hong-Wei JIA Hai-Qiang LI Wei HUANG Yi ZHOU Jun-Ming |
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| Abstract: | We have set up a nanofabrication facility and a single-electron measurement system,and have successfully realized nanofabrication by optical lithography.This technique is especially suitable for fabricating high temperature single-electron devices.With this method we have fabricated nanoelectrode-pairs which have potential applications in developing genetic chips and in microelectronics integration. |
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