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| 微离子束技术及其在微细加工中的应用 | |
| 引用本文： | 华明达.微离子束技术及其在微细加工中的应用[J].物理,1985(1). |
| 作者姓名： | 华明达 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所 |
| 摘 要： | 二十多年前,著名的美国物理学家费曼说过:如果微细加工技术能加工线度8nm的图形,就可以把二十四卷《大英百科全书》刻在一个针尖上.今天,他的预言正在变成现实,微离子束的束斑直径已达到10nm. 由于计算机和空间技术的需要,微电子学迅速发展,集成电路的集成度越来越高,目前已制成512K的ROM.要求微细加工的线度在亚微米量级(图1). 早在 1954年,W,Shockley在提出离子掺杂工艺时就设想用微离子束掺杂来获得p-n结.六十年代,国内外在发展毫米束离子注入工艺时也曾试探过获得微米离子束,以便进行微细加工.1973年美国休斯实验室的R.L.Seliger等… |
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