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发现和优化新材料的集成材料芯片方法
引用本文:
高琛.发现和优化新材料的集成材料芯片方法[J].物理,1999,28(11):675-678.
作者姓名:
高琛
作者单位:
摘 要:
简要地介绍了发现和优化新材料的集成材料芯片方法的基本思想;重点点说明了转动四元物理掩模,以20步沉积获得1024种不同材料的方法;介绍了相关的测量技术(光致发光和电光/磁光)及其应用。
关 键 词:
集成材料芯片
高材料
四元物理掩模
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