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| 扫描SQUID显微镜及其在物理研究和微电子工程中的应用 | |
| 引用本文： | 何豫生,金铎.扫描SQUID显微镜及其在物理研究和微电子工程中的应用[J].物理,1998,27(8):490-495,505. |
| 作者姓名： | 何豫生 金铎 |
| 作者单位： | 中国科学院低温中心极低温物理开放实验室 |
| 摘 要： | 扫描ＳＱＵＩＤ显微镜，是９０年代出现的一种新型微结构磁成像仪器，是迄今为止探测微米尺度结构中微弱磁场或微小电充的最灵敏的仪器。它可检测小于１０＾－１０Ｔ的磁场，几个纳安（１０＾－９Ａ）的电流或几百个玻尔磁子的永久磁矩。虽然诞生时间不长，但它无论在基础研究（例如，关于高温超导体波函数对称性的著名三晶超导环实验）还是在应用研究（例如，微电子器件中的捕获磁通问题）都已发挥了重要作用，显示了它在未来科学与 |
| 关 键 词： | SQUID 显微镜 微结构 磁成像 微电子工程 |
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