| 薄膜层状外延生长的光学原位实时监测方法 |
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| 引用本文： | 陈凡.薄膜层状外延生长的光学原位实时监测方法[J].物理,1999,28(8):500-504. |
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| 作者姓名： | 陈凡 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所 |
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| 摘 要： | 综述了几种用于监控薄膜外延生长的光学原位实时监测方法的进展。其中光反射差法／光反射各向异性谱（ＲＤＳ／ＲＡＳ）和ｐ偏振反射谱（ＰＲＳ），表面光吸收（ＳＰＡ），椭偏仪（ＳＥ）等。在外延过程中已观测到了薄膜层状外延周期振荡。
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| 关 键 词： | 薄膜 层状外延生长 光学原位 实时监测 |
INSITU REAL TIME OPTICAL MONITORING OF THIN FILM LAYERBYLAYER EPITAXIAL GROWTH |
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| Abstract: | Variation methods of in-situ real time optical monitoring of thin film layer-by-layer epitaxial growth are presented.Oscillations have been observed by reflectance difference spectroscopy/reflectance anisotropy spectroscopy p-polarized reflectance spectroscopy,surface photon absorption and ellipsometry during the epitaxial growth. |
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| Keywords: | thin film layer-by-layer epitaxial growth in-situ real time optical monitoring |
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