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| 集成微光机电系统中的矢量光学问题 | |
| 引用本文： | 李志远,杨国桢,顾本源.集成微光机电系统中的矢量光学问题[J].物理 |
| 作者姓名： | 李志远 杨国桢 顾本源 |
| 摘 要： | |
VECTORIAL DIFFRACTION OF LIGHT IN MICRO-OPTO- ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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