X射线衍射貌相术简介 |
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引用本文: | 许顺生.X射线衍射貌相术简介[J].物理,1979(4). |
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作者姓名: | 许顺生 |
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作者单位: | 中国科学院上海冶金研究所 |
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摘 要: | 一、引 言 X射线衍射貌相术(简称X射线貌相术)是利用X射线在晶体中衍射的动力学及运动学衍衬原理,根据晶体中完整及非完整部分衍射的衬度变化及消光规律,来检查晶体材料及器件表面和内部微观结构缺陷的一种方法.随着半导体、激光等科学技术的发展和近完整晶体材料的大量使用,自五十年代末期以来,X射线貌相术的实验和理论有了很大发展,逐渐形成为一种有效的检验手段和一门分支学科1-3]. X射线貌相术具有下列一些主要优点: 1.用这种方法检查晶体或器件中的缺陷时,通常对样品本身以及其中所含的缺陷状态均具有完全的非破坏性,样品检查后可以…
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