中国科学院物理研究所微加工实验室 |
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摘 要: | 为适应凝聚态物理与相关交叉学科研究的需求,探索材料在纳米尺度下新奇的物理性质及在信息、能源、生物等领域的应用,促进纳米科学与技术领域的发展,物理所微加工实验室于2002年底建成,并开始提供微纳加工技术服务。
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关 键 词: | 中国科学院物理研究所 实验室 微加工 纳米尺度 凝聚态物理 科学与技术 物理性质 技术服务 |
Laboratory of Microfabrication,Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences |
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Abstract: | |
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