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| 多孔硅——一种新形态的硅材料 | |
| 引用本文： | 张树霖.多孔硅——一种新形态的硅材料[J].物理,1992,21(8):478-483. |
| 作者姓名： | 张树霖 |
| 作者单位： | 北京大学物理系 北京100871 |
| 摘 要： | 多孔硅（ｐｏｒｏｕｓ Ｓｉｌｉｃｏｎ）是指通过对氢氟酸溶液中的晶体硅片进行阳极氧化，在硅衬底上形成的多孔态的硅材料．本文介绍了多孔硅的形成规律和结构形貌，并对其光学性质和形成机制仆行了简要的评介，最后以多孔硅在大规模集成电路中的应用为主讨论了它的技术应用． |
| 关 键 词： | 硅 多孔态 结构 集成电路 多孔硅 |
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