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| 激光微探针──激光激发离子质量分析器 | |
| 引用本文： | 郭华聪.激光微探针──激光激发离子质量分析器[J].物理,1987(11). |
| 作者姓名： | 郭华聪 |
| 作者单位： | 四川大学原子核科学技术研究所 |
| 摘 要： | 近年来英国、法国、联邦德国三国又发展了一种新的分析技术,叫做激光微探针──激光激发离子质量分析器.激光微探针有一系列优点:(1)能进行全元素分析.(2)灵敏度高,相对探测极限可到0.1ppm,绝对探测极限可到10-20g.(3)空间分辨好,横向分辨可到1μm,深度分辨可到20nm.(4)质量分辨好,M/△M=500.(5)分析速度快,分析一个点只要100μs,比其他技术快105倍.(6)能分析固体、液体和气体佯品.能分析mm级厚样品和nm级薄的样品,但这种技术的缺点是:(1)定量精度较差,现在达到的最好精度为0.1%.(2)对样品不是无损分析. 激光微探针能进行1μ m3体积的微区… |
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