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| 国产氩离子枪的研发 | |
| 引用本文： | 臧侃,董华军,郭方准.国产氩离子枪的研发[J].物理,2014(1). |
| 作者姓名： | 臧侃 董华军 郭方准 |
| 作者单位： | 大连交通大学; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:51207016);中国博士后科学基金(批准号:2012M521400)资助项目;中国科学院“百人计划”资助项目;辽宁省教育厅“攀登学者”资助项目 |
| 摘 要： | 氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成,可以产生并发射氩离子束,用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析,是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果,氩离子的加速电压可达2 kV,在工作距离150 mm和氩气分压为2.0×10-3Pa的情况下,可产生4.5mA的氩离子束流,束斑的直径在10—20 mm之间可调。 |
| 关 键 词： | 氩离子 静电透镜 离子溅射 表面科学 |
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