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CVD金刚石膜断裂性能测试装置的研究
引用本文:张恒大,蒋政,刘敬明,宋建华,唐伟忠,吕反修.CVD金刚石膜断裂性能测试装置的研究[J].物理,2001,30(11):704-706.
作者姓名:张恒大  蒋政  刘敬明  宋建华  唐伟忠  吕反修
作者单位:北京科技大学材料学院,
基金项目:国家"八六三”高技术计划资助项目
摘    要:文章介绍弛一种利用恒载荷速率加载测试金刚石膜断裂性能的试验方法,并建立了国内第一台金刚石膜断裂性能测试的专用装置,该装置利用弹性压头代替传统的刚性压头,可以成功地解决断裂试验的缓慢加载问题,试验装置的最大载荷为500N,可以在5-500N之间获得准确的载荷,误差不大于1%,最小加载速率为0.5N/s,最大加载速率为25N/s,该装置采用计算机控制,可以直接输出试验结果,该装置采用恒载荷速率(0.5N/s 至2N/s)的加载方式测得的断裂性能比用恒位移速率(0.5mm/min和0.05mm/min)加载方式测得的断裂性能更低,适合高脆性,小尺寸金刚石膜试样断裂性能的测试。

关 键 词:CVD  金刚石膜  断裂性能  恒载荷速率  测试装置
修稿时间:2000年12月14

TESTING RIG FOR FRACTURE PROPERTIES OF CVD DIAMOND FILMS
ZHANG Heng,Da,JIANG Zheng LIU Jing,Ming SONG Jian,Hua TANG Wei,Zhong LU Fan,Xiu.TESTING RIG FOR FRACTURE PROPERTIES OF CVD DIAMOND FILMS[J].Physics,2001,30(11):704-706.
Authors:ZHANG Heng  Da  JIANG Zheng LIU Jing  Ming SONG Jian  Hua TANG Wei  Zhong LU Fan  Xiu
Abstract:
Keywords:CVD diamond films  fracture properties  constant loading rate  testing rig
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