薄膜物理及其应用讲座——第十讲 低维材料的X射线衍射(Ⅱ) |
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引用本文: | 麦振洪.薄膜物理及其应用讲座——第十讲 低维材料的X射线衍射(Ⅱ)[J].物理,1996(5). |
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作者姓名: | 麦振洪 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所!北京 100080 |
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摘 要: | 3.4 横向周期结构薄膜制备工艺的不断发展,目前已能制备几个原子层厚度的超薄结构,因此人们越来越关注这些低维结构中的量子限制效应,如量子线、量子点等.它们不仅具有丰富的物理内涵,而且具有巨大的应用潜力.表面周期结构的周期可以应用光学干涉方法来测定,但其分辨率受到光波波长的限制,高分辨X射线衍射提供了一种对低维材料横向周期结构高精度、非破坏的测定方法.3.4.1皱折的表面近年来,Tapfer等人对皱折表面的X射线衍射在理论上和实验上都作了研究[9,10].他们应用光刻和腐蚀方法,在GaAs表面刻出…
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