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| 封面说明 | |
| 引用本文： | 彭良强.封面说明[J].物理,2002(9). |
| 作者姓名： | 彭良强 |
| 作者单位： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 摘 要： | 中国科学院高能物理研究所以北京正负电子对撞机上的同步辐射装置为依托 ,从 2 0世纪 90年代初开始微细加工技术研究 ,主要以ＬＩＧＡ、准ＬＩＧＡ技术为主 .目前实验室具有开展微细加工所必需的洁净环境以及各种加工、检测设备 ,可以开展多种镀膜、多种光刻、干 湿法腐蚀、电铸、模压塑铸等多种技术的复合加工 .目前加工出的微结构最小线宽达 5 0ｎｍ ,最大深度达 2ｍｍ ,微结构的深度 宽度之比最高达 10 0 .图为深度光刻获得的高深宽比微结构的扫描电镜照片封面说明$中国科学院高能物理研究所@彭良强… |
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