| MgB2超导薄膜制备方法对比研究 |
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| 引用本文： | 高建龙,周建中,张莉.MgB2超导薄膜制备方法对比研究[J].物理,2008,37(7). |
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| 作者姓名： | 高建龙 周建中 张莉 |
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| 作者单位： | 兰州理工大学理学院,兰州,730050 |
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| 摘 要： | 文章结合MgB2超导薄膜在电子器件中的应用,简介了混合物理化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法、分子束外延法和电子束蒸发法等MgB2超导薄膜制备方法和研究进展,并对主要的MgB2超导薄膜制备方法进行了比较,提出了改进意见.对MgB2超导薄膜的应用前景作了展望.
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| 关 键 词： | 二硼化镁 超导 薄膜 制备技术 超导薄膜 薄膜制备方法 方法对比 研究进展 thin film superconducting technique fabrication 前景 意见 改进 比较 电子束蒸发法 外延法 分子束 磁控溅射法 脉冲激光沉积法 气相沉积法 物理化学 混合 |
A contrastive study on fabrication technique of MgB2 superconducting thin film |
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| GAO Jian-Long,ZHOU Jian-Zhong,ZHANG Li.A contrastive study on fabrication technique of MgB2 superconducting thin film[J].Physics,2008,37(7). |
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| Authors: | GAO Jian-Long ZHOU Jian-Zhong ZHANG Li |
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