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| 中国科学院物理研究所微加工实验室 | |
| 摘 要： | 为适应凝聚态物理与相关交叉学科研究的需求,探索材料在纳米尺度下新奇的物理性质及在信息、能源、生物等领域的应用,促进纳米科学与技术领域的发展,物理所微加工实验室于2002年底建成,并开始提供微纳加工技术服务。特别是2008年成为科学院"纳米材料与纳米结构加工平台",2009年加入"中科院所 |
| 关 键 词： | 微加工 实验室 凝聚态物理 交叉学科研究 纳米材料 物理性质 纳米结构 纳米尺度 纳米科学 加工平台 |
Laboratory of Microfabrication,Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences |
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