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飞秒激光在三维微细体系中的应用
引用本文:李承德,王丹翎,罗乐,杨宏,龚旗煌.飞秒激光在三维微细体系中的应用[J].物理,2000,29(12):719-723.
作者姓名:李承德  王丹翎  罗乐  杨宏  龚旗煌
作者单位:北京大学物理系人工微结构与介观物理国家重点实验室 北京 100871
基金项目:国家基础研究专项经费(批准号:G1999075607)资助项目;国家自然科学基金(批准号:1998 4001,19525412)资助项目
摘    要:飞秒激光的超快特性使其能以极低的脉冲能量获得超强光场,并且激光加照区淀积的能量能以通过热扩散途径逸出辐照区域,其与透明物质相互作用是通过双光子或多光子吸收过程实现,故作用区限域于焦点核心很小体积内,因而在三维微制备及生物医学领域有着独到优势。文章介绍了飞秒激光应用于微爆炸、高密度三维光学数据存储、直写光波导及三维光子晶体制备、生物医学工程等方面的最新进展。飞秒激光三维微制备技术在微电子、计算机、光通信、生物医学等高技术领域有着广阔的应用前景。

关 键 词:飞秒激光  三维激光微制备  光聚合  三维微细体系
修稿时间:2000年3月2日

FEMTOSECOND LASER APPLICATIONS IN THREE-DIMENSIONAL MICRO-SYSTEMS
LI Cheng-de,WANG Dan-Ling,LUO Le,YANG Hong,GONG Qi-Huang.FEMTOSECOND LASER APPLICATIONS IN THREE-DIMENSIONAL MICRO-SYSTEMS[J].Physics,2000,29(12):719-723.
Authors:LI Cheng-de  WANG Dan-Ling  LUO Le  YANG Hong  GONG Qi-Huang
Abstract:Femtosecond lasers exhibit great advantages in three\|dimensional microfabrication and ophthalmic surgery since they can machine materials with very high resolution and precision due to their ultrashort pulse duration and ultrahigh peak intensity. Recent developments of the applications of femtosecond lasers in three\|dimensional microfabrication of high density 3\|D optical data storage, wave guides and photonic crystals, and in refractive surgery, glaucoma treatment and cataract surgery are reviewed. Femtosecond laser three\|dimensional microfabrication technology will be extensively used in microelectronics, computer science, optical communication and biomedicine fields.
Keywords:femtosecond laser  three dimensional laser microfabrication  photo polymerization  optical damage  ophthalmic surgl
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