金属-半导体接触效应

一、研究的意义和历史 金属-半导体接触效应的研究,无论从半导体器件的研制和生产,或是界面物理学的发展来说,都是一个相当重要的基本课题.最早的点接触整流器、光电探测器,第一只晶体管的注入极和集电极,都是直接和金属-半导体的点接触效应相关的.人们为了解这个效应的物理机制,也是首先从这里考虑表面态的作用.当对这个效应详细的物理机制还不清楚的时候,要稳定和提高这类器件的性能就缺乏明确的指导. pn结型器件产生后,金属-半导体接触主要应用于制作欧姆接触电极上.起初,并没有发生多大的问题,因此人们对它的研究有些漠视.近年来,随着半…