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| 离子溅射(Ⅱ) | |
| 引用本文： | 田民波,崔福斋.离子溅射(Ⅱ)[J].物理,1987(4). |
| 作者姓名： | 田民波 崔福斋 |
| 作者单位： | 清华大学工程物理系 (田民波)，清华大学工程物理系(崔福斋) |
| 摘 要： | 三、合金和化合物的溅射2,21-23]1.择优(preferential)溅射现象 对合金、化合物的溅射与前面所述的对单质的溅射具有十分显著的差别.首先,即使同种原子。由单原子固体变为多种原子固体后,溅射产额也将发生十分显著的变化,这种现象在结合状态发生了很大变化的氧化物等中可以明显地看到.再者.构成固体的每种元素,溅射产额都不相同。所以被溅射固体的表面成分和溅射之前相比,发生了变化,这就是所谓的择优溅射观象.这种现象在多原子固体的溅射中是十分重要的. 一般用下述方法来分析评价择优溅射现象.为简单起见,考虑二元合金.构成二元合金的两… |
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