|
|||||
|
|
| 电子能谱仪中金属硅化物的原位制备装置 | |
| 引用本文： | 季明荣,吴建新.电子能谱仪中金属硅化物的原位制备装置[J].物理,1989,18(1):41-42. |
| 作者姓名： | 季明荣 吴建新 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学结构成分分析中心 (季明荣)，中国科学技术大学结构成分分析中心(吴建新) |
| 摘 要： | 本文介绍了在电子能谱仪中为原位制备金属硅化物样品而设计和安装的高温电子束加热装置和石英振子膜厚测量装置，着重介绍了它们的基本原理、结构和使用性能，并以Ｐｄ／ｓｉ 系统为例作了简要说明． |
| 关 键 词： | 电子能谱仪 金属硅化物 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |