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用消光式椭圆偏振仪测薄膜的椭圆偏振光谱
引用本文:张淑芝.用消光式椭圆偏振仪测薄膜的椭圆偏振光谱[J].物理,1989,18(2):112-114.
作者姓名:张淑芝
作者单位:山东大学光学系
摘    要:我们提出一种简便宜行的测试方法,即利用固定波长下的消光椭圆偏振仪中补偿器材料的色散曲 线计算对不同波长的光产生的位相差,实现可变波长的消光椭圆偏振测量.以Si-SiO2膜为例测椭圆 偏振光谱和理论计算,两者结果一致。

关 键 词:薄膜  椭圆偏振光谱  偏振仪  
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