用消光式椭圆偏振仪测薄膜的椭圆偏振光谱 |
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引用本文: | 张淑芝.用消光式椭圆偏振仪测薄膜的椭圆偏振光谱[J].物理,1989,18(2):112-114. |
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作者姓名: | 张淑芝 |
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作者单位: | 山东大学光学系 |
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摘 要: | 我们提出一种简便宜行的测试方法,即利用固定波长下的消光椭圆偏振仪中补偿器材料的色散曲 线计算对不同波长的光产生的位相差,实现可变波长的消光椭圆偏振测量.以Si-SiO2膜为例测椭圆 偏振光谱和理论计算,两者结果一致。
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关 键 词: | 薄膜 椭圆偏振光谱 偏振仪 硅 |
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