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| 扫描隧道显微镜在工业上的一些应用 | |
| 引用本文： | 吴超明 VirgilElings.扫描隧道显微镜在工业上的一些应用[J].物理,1990,19(2):98-99. |
| 作者姓名： | 吴超明 VirgilElings |
| 作者单位： | [1]东南大学物理系 [2]美国数字仪器公司 |
| 摘 要： | 用扫描隧道显微镜1-3](STM)探测原子量级的表面结构,是大家熟知的.除了观察材料表面的原子和分子外,在工业上人们常用STM来研究样晶的表面特征,扫描范围可以从0.01μm到 200.00 μm..这样的分辨率,扫描电镜(SEM)也能达到.不过,SEM测不出Z方向的微小距离,而STM却可保持在Z方向有较高的分辨率.因此,在工业上用STM观察在Z方向有微小高差特征的表面结构,例如光滑轴承表面的抛光情况,衍射光栅上锯齿形刻槽的深度,圆珠笔中圆珠表面的粗糙程度等,是十分有效的.这里,我们将介绍用STM测量袖珍唱片(CD)和集成电路(IC)所得到的结果. CD片… |
| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 袖珍唱片 集成电路 |
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