α-Si_(1-x)C_x∶H薄膜材料的弹性反冲探测分析 |
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作者姓名: | 周平 路秀琴 郭继宇 赵葵 吴伟明 隋丽 倪嵋楠 梅俊平 罗红兵 刘建成 |
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作者单位: | 中国原子能科学研究院核物理所,中国原子能科学研究院核物理所,中国原子能科学研究院核物理所,中国原子能科学研究院核物理所,广西大学物理科学与工程技术学院,中国原子能科学研究院核物理所,中国原子能科学研究院核物理所,中国原子能科学研究院核物理所,中国原子能科学研究院核物理所,中国原子能科学研究院核物理所 北京102413广西大学物理科学与工程技术学院广西南宁530004,北京102413,北京102413,北京102413,广西南宁530004,北京102413,北京102413,北京102413,北京102413,北京102413 |
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基金项目: | 国际原子能机构(IAEA)支持的国际合作项目(CPR 11314)~~ |
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摘 要: | 介绍在中国原子能科学研究院HI 13串列加速器上,对α Si1-xCx∶H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品质127I束流轰击α Si1-xCx∶H薄膜材料样品,用ΔE(gas) E(PSD)望远镜探测器,在前角区(30°角)测量从该样品中反冲的各元素的能谱.然后用离子束分析(IBA)程序SIMNRA对能谱进行拟合,得到样品中H,C和Si的比分及深度分布.
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关 键 词: | 弹性反冲探测分析 非晶氢化硅碳薄膜 ΔEE望远镜探测器 |
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