| 基于氧化物的0.8~1.7μm和3.7~4.8μm硬质宽带红外增透膜研制 |
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| 引用本文： | 王彤彤.基于氧化物的0.8~1.7μm和3.7~4.8μm硬质宽带红外增透膜研制[J].中国光学,2014,7(5):816-822. |
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| 作者姓名： | 王彤彤 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033;
2. 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室, 吉林长春 130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 从实际应用出发，在0°入射的条件下，在ZnS基底上针对0.8~1.7 μm和3.7~4.8 μm两个红外波段，设计并制备了双波段红外增透膜。论述了材料选择、膜系设计和制备方法，最终使用等离子辅助沉积技术在ZnS窗口上制备出双波段红外增透膜，透过率及环境测试结果表明：在0.8~1.7 μm波段双面平均透过率大于95%，在3.7~4.8 μm波段双面平均透过率大于96%。膜层结合牢固并有良好的耐摩擦性能。
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| 关 键 词： | 红外增透膜 硫化锌 等离子辅助 双波段增透膜 |
| 收稿时间： | 2014/5/11 |
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